وحدات إشعال البلازما ذات الحالة الصلبة مع كربيد السيليكون والتحكم التكيفي

وحدات إشعال البلازما ذات الحالة الصلبة مع كربيد السيليكون والتحكم التكيفي

الملخص

حافظت مرحلة الإشعال على نبضة ثابتة لثلاثة عقود، بينما انتقلت الحقول المجاورة إلى التبديل واسع النطاق والتحكم الرقمي. توضح هذه المقالة التغييرات: نبضة ثنائية المراحل تتكون من نبضة تأين مسبق بتردد 10 ميجاهرتز ونبضة متابعة بجهد 10 كيلوفولت، وحلقة أحداث تتكيف مع الضربة السابقة، وحسابات الشحنة والطاقة التي تحدد الحد الأقصى للتكرار، وبنك تخزين يجب أن يحتفظ بمعاييره عبر نطاق التكيف الموسع.

1. مقدمة

على مدى ثلاثة عقود، كانت مرحلة الإشعال عالية الجهد هي الجزء المحافظ في قاطع البلازما. اعتمدت مصادر القطع التحكم الرقمي، بينما احتفظ محرك الإشعال بمكثف مشحون، ومحول نبضي، وفجوة شرارة أو ثايرستور، وحلقة إشعال لم تتغير تقريبًا منذ التسعينيات.

يدل هذا الاستقرار على جودة التصميم. لقد وصلت تقنيات التبديل ذات فجوة النطاق العريض، والتحكم الرقمي بعرض نطاق كيلوهرتز، والتعلم الآلي، والتوائم الرقمية على مستوى المصنع، والتبديل ذي الحالة الصلبة بتوقيت أقل من ميكروثانية، وسيتحدد الجيل القادم من مصادر إشعال القوس الكهربائي بمدى انتشار هذه التقنيات.

القوى الدافعة ملموسة. فالتصنيع يسعى إلى دورات ثقب أسرع. وبرامج الثورة الصناعية الرابعة تطالب ببث بيانات الحالة من كل نظام فرعي، بينما تعتمد محركات الإشعال الحالية في الغالب على تقنية القياس عن بُعد. كما يشهد قطاع البلازما تقاربًا، حيث تشترك رؤوس البلازما والليزر والغاز في نفس الهيكل الأساسي للتحكم.

في هذا السياق، تعني كلمة "ذكي" ثلاثة أمور: أولاً، يستشعر المحرك جودة نبضاته في كل حدث، ثانياً، يُعدّل معايير إطلاقه وفقاً لحالة الشعلة والكابل، وثالثاً، يُبلغ عن حالته للمحطة. تتوفر كل هذه القدرات بالفعل في مجالات أخرى للطاقة النبضية، لذا فإن المخاطر التقنية منخفضة، بينما تكمن المخاطر الهندسية في التكامل والتصميم الحراري.

2. الآلية الأساسية

2.1 معدلات حافة فجوة النطاق العريض

تتميز ترانزستورات MOSFET المصنوعة من كربيد السيليكون وترانزستورات HEMT المصنوعة من نتريد الغاليوم بسرعة تبديل أسرع من ترانزستورات IGBT المصنوعة من السيليكون بمقدار عشرة أضعاف.

dV/dt = U_c / t_edge

حيث يمثل dV/dt معدل تغير الحافة، وU_c جهد النبضة، وt_edge زمن الانتقال. تصل نبضة جهدها 10 كيلو فولت ذات حافة مدتها 100 نانو ثانية إلى 100 كيلو فولت/ميكرو ثانية، بينما تصل النبضة نفسها ذات حافة مدتها 20 نانو ثانية إلى 500 كيلو فولت/ميكرو ثانية.

2.2 من حلقة متلاشية إلى نبضة مُشكَّلة

يقوم بنك ماركس ذو الحالة الصلبة أو سلم الرنين الذي يتم تشغيله بمعدلات ميغاهرتز بتوليف النبضة بدلاً من تفريغ الشحنة.

u(t) = U_c · Σ sin(2π f_i t + φ_i)

حيث يمثل u(t) جهد الفجوة، وU_c جهد الشحن، وf_i وφ_i تردد وطور كل مكون في المجموع. يصبح جهد الإشعال عبارة عن تراكب لمكونات مختارة وليس حلقة واحدة متلاشية، لذا يمكن للمتحكم جدولة نبضة تأين مسبق عالية التردد تخفض عتبة الانهيار، ثم إرسال نبضة متابعة عالية الطاقة تُنشئ القوس التجريبي.

تحتوي بطارية بسعة 1 نانو فاراد عند جهد 10 كيلو فولت على طاقة مقدارها 50 ملي جول، ويحدد شكلها ما إذا كانت هذه الطاقة ستصل على شكل نبضة رنانة واحدة أو على شكل دفقة جهد 4 كيلو فولت لمدة 200 نانو ثانية متبوعة بجهد 10 كيلو فولت. تكمن أهمية قيمة 500 كيلو فولت/ميكروثانية عند حافة النبضة، لأن القوس التجريبي يحتاج إلى وصول التيار خلال فترة الميكروثانية.

2.3 معدل التكرار يأتي من مسار الشحن

يُستنتج معدل النجاح الأقصى من الوقت الذي تحتاجه الحلقة بين الأحداث.

f_max = 1 / (t_charge + t_recover)

حيث f_max هو الحد الأقصى لمعدل التكرار، وt_charge هو زمن إعادة شحن البطارية، وt_recover هو زمن استعادة المفتاح بالإضافة إلى زمن الاستقرار. يصل مُشعل تقليدي بشحن محدود التيار لمدة 100 مللي ثانية وزمن استعادة 1 مللي ثانية إلى 9.9 هرتز (1/0.101)، وهو ما يتوافق مع الحد الأقصى للتردد المُسجل ميدانيًا (5-10 هرتز). أما الشاحن الرنيني بزمن استعادة 0.5 مللي ثانية وزمن شحن 15 مللي ثانية، فيصل إلى 64 هرتز (1/0.0155). تُمكّن تقنية المفتاح الرقم الثاني، بينما يُحدده الشاحن.

تكلفة الطاقة التي يتم تحديدها متواضعة.

P_charge = ½ · C · U² · f

حيث P_charge هي الطاقة المستهلكة في مرحلة الشحن، وC سعة التخزين، وU جهد الشحن، وf معدل التكرار. عند 1 نانوفاراد، و10 كيلوفولت، و50 هرتز، تبلغ طاقة الشحن 0.05 جول × 50 = 2.5 واط. الحد الأقصى للتكرار هو حد زمني، وليس حدًا للطاقة، وتكمن الفائدة من الضربة الأسرع في زمن الدورة ونسبة نجاح الضربة الأولى، وليس في الطاقة المستهلكة.

يجب توخي الحذر في حسابات زمن الدورة. فبمعدل توفير 20 مللي ثانية لكل ضربة على مدار 500,000 ضربة سنويًا، توفر الخلية 10,000 ثانية، أي ما يعادل 2.8 ساعة. ويتطلب أسبوع إنتاج كامل بثلاث ورديات حوالي 21.6 مليون ضربة بهذا المعدل من التوفير.

2.4 حلقة الأحداث وسجل بياناتها

يُمكّن عرض نطاق تحكم يصل إلى مئات الكيلوهرتز محرك الأقراص من قياس الحدث والاستجابة للحدث التالي. يلتقط مُرقّم بسرعة 100 ميجا عينة/ثانية 2,000 عينة خلال حدث مدته 20 ميكروثانية، أي ما يعادل 4 كيلوبايت لكل عملية تسجيل خام. بعد تقليص حجم البيانات على محرك الأقراص إلى 40 ميزة، كل منها بحجم 4 بايت، يصبح حجم السجل 160 بايت لكل عملية تسجيل، أو 80 ميجابايت على مدار عام كامل من 500,000 عملية تسجيل.

تحتاج ورشة العمل الباردة والرطبة إلى جهد شحن أعلى بنسبة 8%، وتحتاج الفوهة البالية إلى نبضة تأين مسبق أطول، ويحتاج كابل الشعلة الطويل إلى محاثة توالي تعويضية. كل تصحيح يأتي من خصائص سبق قياسها بواسطة المحرك.

2.5 علاقتان للمكثف يجب على بنك التخزين مراعاتهما

الطاقة المخزنة والانخفاض يحددان حجم البنك معًا.

E_st = ½ · C · U²

حيث E_st هي الطاقة المخزنة، وC هي السعة، وU هو جهد الشحن. وبما أن C بوحدة النانوفاراد وU بالكيلوفولت، فإن النتيجة تكون بالملي جول، لذا فإن نفس قيمة 1 نانوفاراد عند 10 كيلوفولت تُعطي 50 ملي جول وليس 50 جول.

ΔV = 1000 · I · Δt / C

حيث ΔV هو مقدار الانخفاض بالفولت، وI هو تيار الحمل بالأمبير، وΔt هي المدة بالميكروثانية، وC هي السعة بالنانوفاراد. العامل 1000 هو تحويل الوحدة، لذا فإن 1 أمبير لمدة 1 ميكروثانية من مكثف سعته 1 نانوفاراد يؤدي إلى انخفاض الجهد بمقدار 1 كيلوفولت. يحتاج المتحكم التكيفي الذي يدفع جهد الشحن إلى الحد الأقصى للمكون إلى هذه العلاقة في نموذجه، لأن مقدار الانخفاض هو ما يجب أن يستوعبه نطاق الجهد الموسع.

الشكل 1 - تعمل نبضة ما قبل التأين على خفض عتبة الانهيار قبل أن تقوم حافة المتابعة بتسليم 50 مللي جول المخزنة في بنك 1 نانو فاراد عند 10 كيلو فولت.

3. نقاط الضعف الهندسية

نقطة الألم الأولى: استعادة الثايرستور وفجوة الشرارة عند التكرار العالي

تعمل الثايرستورات ومشعلات الشرارة، لكنها تستعيد عملها ببطء. عند تجاوز تردد 5-10 هرتز، يحدث خلل في الإطلاق، ويؤدي تذبذبها الذي يصل إلى عشرات الميكروثواني إلى استنزاف هامش التوقيت الذي تعتمد عليه الخلايا الروبوتية حاليًا في تصميمها. يقع الحد الأقصى للجهد في مسار الشحن بقدر ما يقع في المفتاح، لذا فإن استخدام مفتاح أسرع وحده لا يحل المشكلة.

المشكلة الثانية: عدم وجود بيانات القياس عن بُعد يعني عدم وجود تكيف

لا تُظهر محركات الإشعال الحالية سوى إشارة "تشغيل سليم" في أفضل الأحوال. وبدون بيانات تتبع الجهد والتيار على مستوى الحدث، لا تتوفر بيانات للتكيف أو التنبؤ أو لإنشاء توأم رقمي، وبالتالي تتوقف سلسلة الثورة الصناعية الرابعة عند مرحلة الإشعال. يُساهم استخدام قناة بسرعة 100 ميجا عينة/ثانية، تحتفظ بـ 160 بايت لكل إشارة، في حل مشكلة البيانات بتكلفة معقولة.

المشكلة الثالثة: جودة المكونات تضغط على هامش الجهد

تسعى تقنية الضرب التكيفي إلى رفع جهد الشحن إلى ما يقارب الحد الأقصى للمكون، وتفرض المكثفات ذات الأداء الضعيف في التفريغ الجزئي ومعاملات درجة الحرارة المنخفضة تخفيضًا متحفظًا في القدرة، مما يعيد هامش الأمان. وتصبح وحدة التخزين هي عنق الزجاجة في البنية.

نقطة الألم الرابعة: الخلايا المتقاربة ذات بيئة التداخل الكهرومغناطيسي الواحدة

تتشارك رؤوس البلازما والليزر والغاز في نفس الهيكل، ووحدة التحكم، وبيئة التداخل الكهرومغناطيسي. يجب أن يتعايش مصدر الإشعال في تلك الخلية مع مشغلات الليزر والقياسات، الأمر الذي يتطلب دقة أقل من 5 بيكو كولوم وحدود انبعاثات لا يمكن لخط مكونات الإشعال النموذجي توفيرها. مكثف الفيلم و مقاومات التدرج في نفس الخزانة، يواجهون نفس المتطلبات.

4. خطوات التصميم

الاستراتيجية الأولى: نقل المفتاح والشاحن إلى الأجهزة ذات فجوة النطاق العريض الآن

ضع أجهزة من كربيد السيليكون أو نتريد الغاليوم في مفتاح التفريغ والشاحن الرنيني، بمعدلات حافة تتجاوز 50 كيلو فولت/ميكروثانية واستعادة من حدث إلى آخر في أقل من ميكروثانية. والنتيجة هي شاحن يعيد شحن البطارية في 15 مللي ثانية بدلاً من 100 مللي ثانية، مع إمكانية تشكيل النبضات.

الاستراتيجية الثانية: رصد كل ضربة على مستوى الحدث

أضف مُرقّمًا رقميًا بتردد 50-100 ميجا عينة/ثانية لتيار التفريغ وجهد الفجوة، واحسب خصائص كل حدث: زمن الصعود، والذروة، والطاقة المُسلّمة، وعلامة الاحتراق غير الكامل، وعدد حالات التفريغ الجزئي. هذا هو سجل البيانات الذي تعتمد عليه بقية خارطة الطريق، و مقاومة أخذ العينات يحدد المسار الحالي دقته. ويؤدي ملف روغوفسكي نفس المهمة دون قطع الحلقة.

الاستراتيجية الثالثة: إغلاق الحلقة التكيفية

قم بتطبيق وحدة تحكم تنبؤية نموذجية تستخدم خصائص الضربة السابقة لتحديد جهد الشحن، وطول نبضة التأين المسبق، والتعويض التسلسلي للضربة التالية. تُشير أنظمة الطاقة النبضية المماثلة إلى تحسينات في الموثوقية تتراوح بين 30 و50% عند نفس الطاقة، أو موثوقية مماثلة عند طاقة أقل بنسبة 15 إلى 20%.

الاستراتيجية الرابعة: تحديد مساحة التخزين للغلاف التكيفي

يجب على البنك الحفاظ على معاييره ضمن نطاق الجهد ودرجة الحرارة الموسع الذي يستخدمه التكيف. اختر أجزاء N4700 من الفئة الأولى عند ±30 جزءًا في المليون/درجة مئوية و tanδ ≤ 0.1%، واشترط أن يكون التفريغ الجزئي أقل من 5 بيكو كولوم عند الجهد المقنن. مكثف طرفي لولبي تتضمن الحزمة تلك المواصفات في عقد kV.

الاستراتيجية الخامسة: بناء التوأم الرقمي على مستوى المصنع

قم بتغذية بيانات القياس عن بعد لكل حدث إلى نسخة مطابقة للمصنع تحاكي كل حلقة إشعال مع تاريخ مكوناتها الخاص وتحديث تقديرات العمر المتبقي القائمة على توزيع ويبول.

الاستراتيجية السادسة: توحيد واجهة المعالجة المتعددة المتقاربة

حدد مجموعة أوامر واحدة للتشغيل، والتأيين المسبق، والتثبيت، والإيقاف، والاختبار الذاتي، وحدود تداخل كهرومغناطيسي مشتركة بين رؤوس البلازما والليزر والغاز. تتيح واجهة مشتركة لمنصة واحدة خدمة جميع الرؤوس في الخلية، مما يلغي الحاجة إلى هندسة التكامل لكل عملية بناء جديدة للبوابة.

معايير القبول قابلة للقياس عند وحدة التحكم: معدل نجاح الضربة الأولى أعلى من 99%، ومعدل تكرار عند أو أعلى من 50 هرتز مع تذبذب أقل من 1 ميكروثانية، وطاقة مخزنة مستقرة ضمن نطاق 0.5% عبر نطاق الجهد ودرجة الحرارة التكيفي، وتفريغ جزئي أقل من 5 بيكو كولوم عند أعلى هذا النطاق. إشارة الصليب مقارنة بسجلات الأجزاء القديمة، ما الذي يشتريه التغيير.

معلمة المكون	القيمة النموذجية	شرط الاختبار
الجهد المقنن (سلسلة HVCT8G)	10 كيلو فولت العاصمة	جهد عالي 1.5× لمدة 60 ثانية
مواسعة	4700 بيكوفاراد ±20% (472 ميجا)	1 ميجاهرتز، 1 فولت RMS
المقاومة المكافئة التسلسلية عند 1 ميجاهرتز	< 50 مΩ	25 ° C
محاثة الحلقة (وتر E40)	< 8 ن.ح	تباعد طرفي 40 مم
مقاومة العزل	> 10 جيجا أوم عند 500 فولت تيار مستمر	25 درجة مئوية، 60% رطوبة نسبية
نطاق درجة حرارة	40 درجة مئوية إلى +125 درجة مئوية	سلسلة IEC 60068-2
قدرة نبض dv/dt	> 50 كيلو فولت/ميكروثانية	عند الجهد المقدر

يمثل صف dv/dt ذو جهد 50 كيلو فولت/ميكروثانية الحد الأدنى الذي يجب أن تتجاوزه مرحلة الحالة الصلبة، وليس الهدف: إذ تعمل نبضة ما قبل التأين بتردد تكرار 10 ميجاهرتز وحافة مدتها 20 نانوثانية، وهو ما يتجاوز هذا الرقم بكثير. ويحافظ صف الحلقة ذو 8 نانوهنري على النبضة المشكلة سليمة بين مجموعة الملفات والفجوة.

5. مكثفات HVC لهذه العقدة

لا تكتمل جودة إمدادات الجيل القادم إلا بجودة أساس التخزين الخاص بها، وN4700 من الفئة الأولى مكثف القرص السيراميكي يحمل الخط المعلمات التي يحتاجها الغلاف التكيفي.

• دقة من الفئة الأولى للتحكم التكيفي — ±30 جزء في المليون/درجة مئوية و tanδ ≤ 0.1% تحافظ على سعة البنك والطاقة المخزنة ثابتة عبر نطاق التشغيل بأكمله،
• انخفاض ضغط الدم الانقباضي إلى أقل من 5 بيكوكولوم عبر النطاق التكيفي — يتيح الفحص عند الجهد المقنن تشغيل البنك بالقرب من حد المكون دون تقادم الهالة أو انبعاث طفيلي، وهو هامش الأمان الذي لا يمكن أن يوفره جزء قديم
• سلم جهد كامل من 1 كيلو فولت إلى 100 كيلو فولت — تغطي عائلة واحدة مؤهلة مرحلة تأين مسبق بجهد 3 كيلو فولت ونبضة متابعة بجهد 40 كيلو فولت، مما يلغي الحاجة إلى تأهيل موردين متعددين من تصميم يحمل بالفعل طابعًا مبتكرًا.
• توصيل سريع ومستقر بمعدلات تشكيل ميغاهرتز — توفر السيراميكات منخفضة الفقد طاقتها دون أي انخفاض حراري أو انهيار في السعة تحت تأثير الانحياز،
• إثبات دقيق لشريط الهدف — تم استبدال مكثفات HVC 40 kV / 441 pF من النوع اللولبي بمكونات من العلامات التجارية الرائدة من حيث الشكل والوظيفة
• شراكة هندسية من أجل الانتقال — يعمل مهندسو تطبيقات HVC على تحديد حجم التخزين للأغلفة التكيفية، وتصميم PD-quiet، وعقود بيانات التوأم الرقمي.

التسليم والدعم: اطلب من HVC مراجعة تصميم النظام قبل تثبيت مرحلة التخزين. شاركهم بيانات نطاق الجهد، ومعدل التكرار، وأهداف تشكيل النبضات، وستقوم HVC بتسليم مجموعة تخزين وربط N4700 مؤهلة مع بيانات معتمدة لاستهلاك الطاقة، ومعامل درجة الحرارة، والعمر الافتراضي.

6. أسئلة مكررة

س1: ما الذي يحد فعلياً من معدل إشعال جهاز الإشعال التقليدي؟

مسار الشحن. شحن محدود التيار لمدة 100 مللي ثانية بالإضافة إلى 1 مللي ثانية لاستعادة المفتاح يعطي 1 / 0.101 = 9.9 هرتز، وهو ما يتطابق مع الحد الأقصى 5-10 هرتز الذي تم الإبلاغ عنه في الميدان.

س2: ما مقدار التوفير الذي تحققه نسبة الضربات الأسرع فعلاً؟

أقل من الادعاءات التسويقية، وأكثر من لا شيء. توفير 20 مللي ثانية لكل ضغطة على 500,000 ضغطة يعادل 10,000 ثانية، أو 2.8 ساعة سنويًا. ويتطلب أسبوع إنتاج بثلاث ورديات حوالي 21.6 مليون ضغطة مع هذا التوفير.

س3: لماذا يؤدي التأين المسبق إلى خفض جهد الانهيار؟

تُهيئ نبضة عالية التردد الفجوة بشحنة حرة قبل وصول النبضة الرئيسية، فلا تحتاج النبضة اللاحقة إلى بناء التأين الأولي بمفردها. وهذا يسمح للطاقة المخزنة نفسها بكسر الفجوة عند ذروة أقل، كما يمنح وحدة التحكم زرًا ثانيًا بجانب جهد الشحن.

س4: ما مقدار بيانات القياس عن بعد التي تحتاجها حلقة الأحداث؟

تم أخذ 2,000 عينة خلال حدث مدته 20 ميكروثانية بمعدل 100 ميجا عينة/ثانية، أي ما يعادل 4 كيلوبايت لكل نبضة خام. بعد تقليص حجم البيانات على القرص إلى 40 ميزة بحجم 4 بايت لكل منها، يصبح حجم السجل 160 بايت لكل نبضة، أو 80 ميجابايت عبر 500,000 نبضة.

س5: هل يجب تغيير بنك التخزين من أجل التصميم التكيفي؟

نعم. يتسع نطاق التشغيل، لذا يجب على بنك الطاقة الحفاظ على معاييره من أدنى نطاق الجهد الجديد إلى أعلاه، وعبر نطاق درجة حرارة التشغيل. يحافظ جزء من الفئة الأولى عند ±30 جزءًا في المليون/درجة مئوية و tanδ ≤ 0.1% مع PD أقل من 5 بيكو كولوم عند الجهد المقنن على الطاقة المخزنة ضمن نطاق 0.5% عبر هذا النطاق، وهو ما يفترضه جهاز التحكم.

س6: ما الذي يحتاجه التوأم الرقمي من مورد المكثفات؟

شكل Weibull على مستوى الدفعة ومعاملات العمر المميز، وانحراف السعة واتجاهات tanδ، وتاريخ PD لكل دفعة.

7. المراجع

1. إي. كوفيل، دبليو إس زينجل، جيه. كوفيل، أساسيات هندسة الجهد العالي، الطبعة الثانية، نيونس، 2000.
2. ن. موهان، تي إم أونديلاند، دبليو بي روبنز، إلكترونيات الطاقة: المحولات والتطبيقات والتصميم، الطبعة الثالثة، هوبوكين، نيوجيرسي: جون وايلي وأولاده، 2003.
3. إشعار رقم 2 من MIL-HDBK-217F، التنبؤ بموثوقية المعدات الإلكترونية، 1995.
4. IEC 60384-1: 2021 ، المكثفات الثابتة للاستخدام في المعدات الإلكترونية - الجزء 1: المواصفات العامة، الطبعة الرابعة. جنيف: اللجنة الكهروتقنية الدولية، 2021.
5. IEC 60270:2025، تقنيات اختبار الجهد العالي - قياس التفريغات الجزئية بناءً على الشحنة، الطبعة الرابعة. جنيف: اللجنة الكهروتقنية الدولية، 2025.
6. ГОСТ IEC 61071-2014, المكثفات الإلكترونية السيلوفية (المكثفات لإلكترونيات الطاقة). موسكو: ستاندارتينفورم، 2014.
7. أ. بوضياف، س. بوعزبية، ن. هريد و م.ل عمراني، الحساب التحليلي لعتبة التفريغ الجزئي في تجويف غازي داخل عازل كابل الجهد العالي، الهندسة الكهربائية، المجلد 104، العدد 2، الصفحات 555-565، 2021. https://doi.org/10.1007/s00202-021-01310-9.
8. أ. ماريسكوتي ول. فاكارو، ملف روغوفسكي لتطبيقات الجهد العالي، في مؤتمر IEEE لتكنولوجيا القياس والأجهزة لعام 2008، الصفحات 1069-1073، 2008. https://doi.org/10.1109/imtc.2008.4547197.
9. AN2001_06 — توصيل IGBTs على التوالي, Infineon Technologies, AN2001_06, http://www.infineon.com/dgdl/Infineon-AN2001_06_Series_connection_of_IGBTs-AN-v1.0-en.pdf?fileId=db3a304412b407950112b40f000d12f7 .
10. الولايات المتحدة 10,529,487 ، مكثف سيراميكي متعدد الطبقات ذو أقطاب داخلية ذات مواضع حواف مختلفة، شركة تايو يودن المحدودة، منحت عام 2020، https://www.freepatentsonline.com/10529487.html .
11. فريق هندسة تطبيقات HVC، الجهد العالي السيراميك المكثفات الموارد الفنيةhttps://www.hv-caps.com